Halvledarchips är kärnan i informationsteknologin och en viktig framväxande teknologi och industri som länder tävlar om att utveckla.Rån, som det grundläggande materialet för tillverkning av halvledarchips, spelar en mycket viktig roll i utvecklingen av Kinas halvledarindustri.När det gäller wafertillverkningskapacitet har Kina redan tagit ledningen i världen, men i takt med att den globala "chipbristen" intensifieras kommer det att ytterligare accelerera kapacitetsexpansionen.
1. Projektets bakgrund
Ett dotterbolag till en inhemsk halvledarindustri listad grupp, som en ledande aktör inom den nationella industrin för elektroniska informationsmaterial, är engagerad i forskning och utveckling, tillverkning av halvledarmaterial, elektroniska specialiserade material, halvledarenheter och annan teknik.Huvudprodukten är halvledarzonssmältande enkristallkiselskiva, med en global topp tre omfattande styrka och en inhemsk marknadsandel påöver 80%.
För att påskynda kapacitetsexpansionen har företaget investerat cirka 3 miljarder USD för att initiera konstruktionen av ett produktions- och tillverkningsprojekt för kiselwafer med stor diameter för integrerade kretsar i Yixing City, Jiangsu-provinsen.Den andra fasen av projektet har lanserats 2021, i enlighet med det avancerade konceptet "Industry 4.0" och planerar att använda intelligent tillverkning genom hela linjen för att uppnå automatisering, informatisering och intelligent konstruktion av verkstaden.Efter färdigställandet kommer den totala produktionskapaciteten att vara 220 000 8-tums epitaxiella wafers, 200000 12-tums polerade wafers och 150000 12-tums epitaxialwafers per månad, vilket blir en produktionsbas av kiselwafer med globala fördelar.Därför, när det gäller koncernens intelligenta lager,ROBOTECH har förbättrat intelligens-, informations- och automationsnivån för sin produktionsbas genom att implementera avancerade intelligenta lagersystem.
2. Projektplanning
ROBOTECH har fullt ut utnyttjat det 6 m vertikala utrymmet i sin produktionsbas och planerat enAutomatiskt lager med 4 banor av boxtypför att komma åt halvledarwaferprodukter, som kan rymma totalt över2000 lagringsplatser, effektivt öka lagringskapaciteten hos wafers.På grund av att wafern är i form av ett ark, antar dess bärare en specialanpassad 330 * 330 * 300 transparent plastbehållare för enkel åtkomst till wafern, med en maximal belastning på 50 kg.Löste problemet med komplexa waferlagringsprocesser och begränsat utrymmesutnyttjande i traditionella lager, vilket uppnådde en dubbel förbättring av utrymmesutnyttjande och effektivitet.
• Zebra-seriens staplingskransystem
• 100m/min & 24-timmars produktionsrytm & 63P/h per cykel
När det gäller effektiv drift väljer ROBOTECHstaplare i zebraserienkransystemetför högt dynamiskt materialflöde, med en horisontell hastighet på100m/min, som möter24-timmars produktionsrytmav produktionsbasen, och lagringseffektiviteten kan nå63P/h per cykel.
3. Orädd för utmaningar, skräddarsydd innovation
•Eskydda mot damm och stötar
•Icke-standard anpassning
•Ultraljudssensorenhet
•Tbäraren placeras i en vinkel på 5 grader på hyllorna och gafflarna
Utmaning 1
Lagringsegenskaperna hos halvledarskivor är tillsäkerställa damm- och stöttålighet, annars är det lätt att skada ömtåliga wafers.Utifrån detta har ROBOTECH uppgraderat den mekaniska strukturen på staplingskranen tillicke-standard anpassning.Till exempel används markskenor av aluminiumlegering istället för konventionella skenor, höghållfasta kalldragna pelare av aluminiumlegering används istället för stålpelare, gummiklädda hjul används istället för stålhjul, kuggremslyftning används istället för lyft av stållina , och dammsäkra överdrag läggs till lastplattformen.Från det tidiga skedet av utrustningsdesign har påverkan av damm och vibrationer på varor minimerats, risken för föroreningar i den dammfria verkstaden har minskat,och avkastningen har förbättrats.Renhetsnivån kan uppfylla miljökraven i klass 1000.
Utmaning 2
På grund av den transparenta plastlådan på waferbäraren kan konventionella fotoelektriska sensorer inte användas för lastdetektering.ROBOTECH designade innovativt enultraljudssensoranordningför lastdetektering, som automatiskt kan detektera godsets skick på hyllor och pallar.Och den är utrustad med en kamera och en mobil manuell manövreringsskärm för att uppnå exakt visualisering och spårbarhet av allt material genom hela processen, samtidigt som den också felsöker och löser fel på ett bekvämare sätt.
Utmaning3
För att förhindra att skivan glider av bäraren,bäraren placeras i en vinkel på 5 grader på hyllorna och gafflarna.Högprecisionspositioneringen och den stabila gaffeln uppnås genom att föra in den nedre slitsen på waferboxen i de tre positioneringsstiften på specialverktyget för att stapla den luftburna lastplattformen för förvaring.Efter upprepade tester uppnåddes den slutliga positioneringsnoggrannheten± 2 mm, och gaffeljämnheten nåddes99,99 %.Dessutom använder utrustningen olika förreglingsanordningar, vilket effektivt förbättrar helhetenstabilitet och säkerhetsfaktor.
Som expert på automatiserade lagerlösningar har ROBOTECH byggt intelligenta logistiklösningarför wafermaterial som är föroreningsfria och spårbara i realtid, baserat på avancerad utrustning och omfattande system.
Det framgångsrika genomförandet av detta projekt markerarett effektivt genombrott inom automatiserad lagring av halvledarwafer, och betyder också detROBOTECH kommer officiellt att gå in i halvledarområdet, stärker halvledarföretag med intelligenta logistikautomationslösningar.I framtiden kommer ROBOTECH att fortsätta att utforska, ackumulera branschkunskap, förbättra resursutnyttjandet och uppnå övergripande effektivitetsförbättringar.
NanJing Inform Storage Equipment (Group) Co.,Ltd
Mobiltelefon: +86 13851666948
Adress: No. 470, Yinhua Street, Jiangning District, Nanjing Ctiy, Kina 211102
Hemsida:www.informrack.com
E-post:kevin@informrack.com
Posttid: 2023-apr-11
