반도체 칩은 정보 기술의 핵심 초석이며 국가가 개발하기 위해 경쟁하는 중요한 신흥 기술 및 산업입니다.웨이퍼반도체 칩 제조의 기본 자료로서 중국의 반도체 산업 개발에 매우 중요한 역할을합니다. 웨이퍼 제조 용량 측면에서, 중국은 이미 세계에서 선두를 차지했지만 글로벌 "칩 부족"이 강화됨에 따라 용량 확장을 더욱 가속화 할 것입니다.
1. 프로젝트 배경
National Electronic Information Materials 산업의 주요 플레이어로서 국내 반도체 산업 상장 그룹의 자회사는 반도체 재료, 전자 특수 재료, 반도체 장치 및 기타 기술의 연구 개발, 제조, 제조에 전념하고 있습니다. 주요 제품은 반도체 구역 녹는 단결정 실리콘 웨이퍼이며, 전 세계적으로 3 개의 포괄적 인 강도와 국내 시장 점유율이 있습니다.80% 이상.
용량 확장을 가속화하기 위해이 회사는 약 30 억 달러를 투자하여 Jiangsu 지방의 Yixing City의 통합 회로를위한 대규모 직경의 실리콘 웨이퍼 생산 및 제조 프로젝트의 건설을 시작했습니다. 이 프로젝트의 두 번째 단계는 2021 년에 시작되어 "Industry 4.0"의 고급 개념을 고수하고 전체 라인 전체에서 지능형 제조를 사용하여 워크숍의 자동화, 정보화 및 지능형 구성을 달성 할 계획입니다. 완료 후, 총 생산 능력은 220000 8 인치 에피 택셜 웨이퍼, 200000 12 인치 연마 웨이퍼 및 월 150000 12 인치 에피 택셜 웨이퍼가 될 것이며, 전 세계적으로 이점이있는 실리콘 웨이퍼 생산 기반이됩니다. 따라서 그룹의 지능형 창고 측면에서Robotech는 고급 지능형 창고 시스템을 구현하여 생산 기반의 인텔리전스, 정보화 및 자동화 수준을 개선했습니다..
2. 프로젝트p레닝
Robotech는 생산 기반의 6m 수직 공간을 완전히 활용했으며 계획했습니다.4 차선 상자 유형 자동 창고반도체 웨이퍼 제품에 액세스하기 위해서는 총체 이상을 수용 할 수 있습니다.2000 스토리지 공간, 웨이퍼의 저장 용량을 효과적으로 증가시킵니다. 웨이퍼가 시트 형태이기 때문에, 캐리어는 웨이퍼에 쉽게 접근 할 수 있도록 특별히 맞춤형 330 * 330 * 300 투명 플라스틱 용기를 채택하고 최대 50kg의 하중을 채택합니다.복잡한 웨이퍼 저장 공정의 문제와 전통적인 창고에서 공간 활용이 제한되어 공간 활용 및 효율성이 이중 개선을 달성했습니다.
• 얼룩말 시리즈 스태커 크레인 시스템
• 100m/min 및 24 시간 생산 리듬 및 주기당 63p/h
효율적인 운영 측면에서 Robotech는 다음을 선택합니다얼룩말 시리즈 스태커기중기체계높은 동적 재료 흐름의 경우 수평 속도로100m/분,24 시간 생산 리듬생산 기반의 및 스토리지 효율에 도달 할 수 있습니다.사이클 당 63p/h.
3. 도전에 대한 두려움, 맞춤형 혁신
•E먼지 및 충격 저항
•비표준 사용자 정의
•Ultrasonic 센서 장치
•T그는 캐리어가 선반과 포크에 5 도의 각도로 배치됩니다.
도전 1
반도체 웨이퍼의 저장 특성먼지와 충격 저항을 보장하십시오그렇지 않으면 깨지기 쉬운 웨이퍼에 손상이 발생하기 쉽습니다. 이를 바탕으로 Robotech는 Stacker Crane의 기계적 구조를 업그레이드했습니다.비표준 사용자 정의. 예를 들어, 알루미늄 합금 접지 레일은 기존 레일 대신 사용되며, 고강도 차가운 냉기 알루미늄 합금 기둥은 스틸 컬럼 대신 사용되며, 고무 덮개 바퀴는 스틸 휠 대신 사용되며, 타이밍 벨트 리프팅은 강선 로프 리프팅 대신 사용되며 먼지 방지 커버는화물 플랫폼에 추가됩니다.장비 설계의 초기 단계에서 먼지와 진동이 상품에 미치는 영향이 최소화되었으며 먼지가없는 워크숍에서의 오염 위험이 줄어들 었습니다.수율이 개선되었습니다. 청결 수준은 클래스 1000의 환경 요구 사항을 충족 할 수 있습니다.
도전 2
웨이퍼 캐리어의 투명성 플라스틱 상자로 인해, 기존의 광전자 센서를화물 감지에는 사용될 수 없습니다. Robotech 혁신적으로 설계되었습니다초음파 센서 장치화물 탐지의 경우 선반과 팔레트의 상품 상태를 자동으로 감지 할 수 있습니다. 또한 전체 프로세스에서 모든 재료의 정확한 시각화 및 추적 성을 달성하기 위해 카메라와 모바일 수동 작동 화면이 장착되어 있으며보다 편리한 방식으로 결함을 해결하고 해결합니다.
도전3
웨이퍼가 캐리어에서 미끄러지는 것을 방지하기 위해캐리어는 선반과 포크에 5 도의 각도로 배치됩니다.. 고정밀 포지셔닝 및 안정적인 포킹은 웨이퍼 박스의 하단 슬롯을 스토리지를 위해 공기 중 화려한 플랫폼을 쌓기위한 특수 도구의 3 개의 포지셔닝 핀에 삽입하여 달성됩니다. 반복 테스트 후 최종 포지셔닝 정확도에 도달했습니다± 2mm그리고 포킹 부드러움에 도달했습니다99.99%. 또한 장비는 다양한 연동 장치를 채택하여 전체를 효과적으로 향상시킵니다.안정성 및 안전 계수.
자동화 된 창고 솔루션 전문가로서 Robotech는 지능형 물류 솔루션을 구축했습니다.고급 장비 및 포괄적 인 시스템을 기반으로 오염이없고 실시간으로 추적 할 수있는 웨이퍼 재료.
이 프로젝트의 성공적인 구현반도체 웨이퍼 자동 스토리지의 효과적인 획기적인 혁신또한 의미합니다Robotech는 공식적으로 반도체 필드에 들어갑니다, 지능형 물류 자동화 솔루션으로 반도체 기업에 권한을 부여합니다. 앞으로 로봇 공학은 지속적으로 탐구, 산업 지식을 축적하며 자원 활용을 개선하며 전반적인 효율성 개선을 달성 할 것입니다.
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