반도체 칩은 정보기술의 핵심 초석이자 국가가 발전을 위해 경쟁하고 있는 중요한 신흥 기술 및 산업입니다.웨이퍼는 반도체 칩 제조의 기본 재료로서 중국 반도체 산업 발전에 매우 중요한 역할을 합니다.웨이퍼 제조 능력 면에서 중국은 이미 세계 1위를 차지하고 있지만, 전 세계적으로 '칩 부족'이 심화되면서 생산 능력 확장은 더욱 가속화될 전망이다.
1. 프로젝트 배경
국내 반도체 산업 상장 그룹의 자회사는 국내 전자 정보 소재 산업의 선두주자로서 반도체 재료, 전자 전문 재료, 반도체 장치 및 기타 기술의 연구 개발, 제조에 전념하고 있습니다.주요 제품은 단결정 실리콘 웨이퍼를 녹이는 반도체 존으로 글로벌 3위 종합력과 국내 시장점유율 1위를 차지하고 있다.80% 이상.
생산 능력 확장을 가속화하기 위해 회사는 약 30억 달러를 투자하여 장쑤성 이싱시에 집적 회로용 대구경 실리콘 웨이퍼 생산 및 제조 프로젝트 건설을 시작했습니다.프로젝트의 두 번째 단계는 2021년에 시작되었으며, "Industry 4.0"이라는 고급 개념을 고수하고 전체 라인에 걸쳐 지능형 제조를 사용하여 작업장의 자동화, 정보화 및 지능형 건설을 달성할 계획입니다.완공 후 총 생산 능력은 월 220,000개의 8인치 에피택셜 웨이퍼, 200,000개의 12인치 광택 웨이퍼, 150,000개의 12인치 에피택셜 웨이퍼가 되어 글로벌 우위를 갖춘 실리콘 웨이퍼 생산 기지가 될 것입니다.따라서 그룹의 지능형 창고 측면에서는로보텍은 첨단 지능형 창고시스템을 구현하여 생산기지의 지능화, 정보화, 자동화 수준을 향상시켰습니다..
2. 프로젝트p랜닝
ROBOTECH은 생산기지의 수직 6m 공간을 최대한 활용하고4차선 박스형 자동화창고반도체 웨이퍼 제품에 접근하기 위한 것입니다.2000개의 저장 공간, 웨이퍼의 저장 용량을 효과적으로 증가시킵니다..웨이퍼가 시트 형태이기 때문에 캐리어는 웨이퍼에 쉽게 접근할 수 있도록 특별히 맞춤 제작된 330 * 330 * 300 투명 플라스틱 용기를 채택했으며 최대 하중은 50kg입니다.기존 창고의 복잡한 웨이퍼 보관 프로세스와 제한된 공간 활용 문제를 해결하여 공간 활용도와 효율성을 이중으로 향상시켰습니다.
• Zebra 시리즈 스태커 크레인 시스템
• 100m/분 및 24시간 생산 리듬 및 사이클당 63P/h
효율적인 운영을 위해 ROBOTECH은얼룩말 시리즈 스태커두루미체계수평 속도로 높은 동적 재료 흐름을 위해100m/분, 이는 다음을 충족합니다.24시간 생산리듬생산 기지의 저장 효율성이 도달할 수 있습니다사이클당 63P/h.
3. 도전을 두려워하지 않는 맞춤형 혁신
•E먼지 및 충격 방지 보장
•비표준 맞춤화
•U초음파 센서 장치
•T캐리어는 선반과 포크에 5도 각도로 배치됩니다.
도전 1
반도체 웨이퍼의 저장 특성은먼지와 충격 방지 보장그렇지 않으면 깨지기 쉬운 웨이퍼가 손상되기 쉽습니다.이를 바탕으로 로보텍은 스태커크레인의 기계적 구조를비표준 맞춤화.예를 들어, 기존 레일 대신 알루미늄 합금 접지 레일을 사용하고, 강철 기둥 대신 고강도 냉간 인발 알루미늄 합금 기둥을 사용하고, 강철 휠 대신 고무로 덮인 휠을 사용하고, 강철 와이어 로프 리프팅 대신 타이밍 벨트 리프팅을 사용합니다. , 화물 플랫폼에는 방진 커버가 추가됩니다.장비 설계 초기 단계부터 먼지와 진동이 제품에 미치는 영향을 최소화하고, 먼지 없는 작업장에서 오염 위험을 줄였으며,그리고 수율이 향상되었습니다.청결도 수준은 클래스 1000의 환경 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
도전 2
웨이퍼 캐리어의 투명한 플라스틱 상자로 인해 기존의 광전 센서는 화물 감지에 사용할 수 없습니다.ROBOTECH는 혁신적으로 디자인했습니다.초음파 센서 장치선반과 팔레트에 있는 상품의 상태를 자동으로 감지할 수 있는 화물 감지용입니다.그리고 카메라와 모바일 수동 조작 화면을 갖추고 있어 전체 공정에서 모든 자재의 정확한 시각화 및 추적성을 달성하는 동시에 보다 편리한 방법으로 문제를 해결하고 결함을 해결할 수 있습니다.
도전3
웨이퍼가 캐리어에서 미끄러지는 것을 방지하기 위해,캐리어는 선반과 포크에 5도 각도로 배치됩니다..고정밀 포지셔닝과 안정적인 포크는 웨이퍼 박스의 하단 슬롯을 보관용 항공 화물 플랫폼 적재용 특수 공구의 3개 포지셔닝 핀에 삽입함으로써 달성됩니다.반복 테스트 후 최종 위치 정확도에 도달했습니다.± 2mm, 포크 부드러움에 도달했습니다.99.99%.또한 장비는 다양한 연동 장치를 채택하여 전반적인 성능을 효과적으로 향상시킵니다.안정성 및 안전 계수.
로보텍은 자동창고 솔루션 전문기업으로서 지능형 물류 솔루션을 구축해 왔습니다.첨단 장비와 종합 시스템을 기반으로 무공해, 실시간 추적이 가능한 웨이퍼 소재를 생산합니다.
이 프로젝트의 성공적인 구현은반도체 웨이퍼 자동 저장 분야의 효과적인 혁신, 또한 다음을 의미합니다.로보텍, 반도체 분야 본격 진출한다, 지능형 물류 자동화 솔루션으로 반도체 기업의 역량을 강화합니다.앞으로도 ROBOTECH는 업계 지식을 지속적으로 탐구하고 축적하며 자원 활용도를 향상하고 전반적인 효율성 향상을 달성할 것입니다.
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게시 시간: 2023년 4월 11일
