半導体チップは、情報技術の中心的な礎石であり、国が発展に競っている重要な新興技術と産業です。ウェーハ、半導体チップを製造するための基本的な材料として、中国の半導体産業の発展において非常に重要な役割を果たしています。ウェーハの製造能力の観点から、中国はすでに世界で主導権を握っていますが、世界の「チップ不足」が激化するにつれて、容量の拡大をさらに促進します。
1。プロジェクトの背景
国内の電子情報材料産業の大手プレーヤーとして、国内の半導体産業リストグループの子会社は、研究開発、半導体材料の製造、電子専門材料、半導体デバイス、その他の技術に取り組んでいます。主な製品は、シングルクリスタルシリコンウェーハを溶かす半導体ゾーンで、グローバルなトップ3の包括的な強度と国内市場シェアがあります。80％以上.
容量拡大を加速するために、同社は約30億ドルを投資して、江蘇省のYixing Cityにある統合サーキット向けの大きな直径のシリコンウェーハ生産および製造プロジェクトの建設を開始しました。プロジェクトの第2フェーズは2021年に開始され、「Industry 4.0」の高度な概念を順守し、ワークショップの自動化、情報化、およびインテリジェント構造を実現するために、ライン全体でインテリジェントな製造を使用することを計画しています。完了後、総生産能力は220000 8インチのエピタキシャルウェーハ、200000 12インチの洗練されたウェーハ、および1か月あたり150000 12インチのエピタキシャルウェーファーになり、グローバルな利点を持つシリコンウェーハ生産ベースになります。したがって、グループのインテリジェントな倉庫に関しては、Robotechは、高度なインテリジェントな倉庫システムを実装することにより、生産ベースのインテリジェンス、情報化、および自動化レベルを改善しました.
2。プロジェクトplanning
Robotechは、生産ベースの6mの垂直スペースを完全に利用し、4レーンボックスタイプの自動倉庫合計を収容できる半導体ウェーハ製品にアクセスするために2000ストレージスペース, ウェーハのストレージ容量を効果的に増加させます。ウェーハがシートの形であるため、そのキャリアは特別にカスタマイズされた330 * 330 * 300透明なプラスチック容器を採用して、最大荷重を50kgのウェーハに簡単にアクセスできます。従来の倉庫での複雑なウェーハ貯蔵プロセスと限られたスペース利用の問題を解決し、スペースの利用と効率の二重改善を達成しました。
•Zebraシリーズスタッカークレーンシステム
•100m/min＆24時間生産リズム＆1サイクルあたり63p/h
効率的な操作に関しては、Robotechが選択しますゼブラシリーズスタッカークレーンシステム高い動的な材料の流れの場合、100m/min、それを満たします24時間の生産リズム生産ベースの、そしてストレージ効率に到達することができますサイクルあたり63p/h.
3. 課題を恐れず、カスタマイズされたイノベーション
•Ensureダストと衝撃抵抗
•非標準のカスタマイズ
•ULTRASONICセンサーデバイス
•T彼のキャリアは、棚とフォークの5度の角度に配置されています
チャレンジ1
半導体ウェーハのストレージ特性はそうですほこりと衝撃抵抗を確保しますそれ以外の場合は、脆弱なウェーハにダメージを与えるのは簡単です。これに基づいて、Robotechはスタッカークレーンの機械構造をにアップグレードしました非標準のカスタマイズ。たとえば、従来のレールの代わりにアルミニウム合金グランドレールが使用されます。高強度のコールドドローアルミニウム合金カラムは、スチールコラムの代わりに使用され、ゴム製のホイールはスチールホイールの代わりに使用され、タイミングベルトリフティングはスチールワイヤーロープリフティングの代わりに使用され、ダストプルーカバーは貨物プラットフォームに追加されます。機器の設計の初期段階から、粉塵と振動が商品に与える影響が最小限に抑えられており、粉塵のないワークショップでの汚染のリスクが減少しました。収穫量は改善されました。清潔さレベルは、クラス1000の環境要件を満たすことができます。
チャレンジ2
ウェーハキャリアの透明なプラスチックボックスにより、従来の光電気センサーは貨物検出に使用することはできません。 Robotechは革新的に設計されています超音波センサーデバイス貨物検出の場合、棚やパレットの商品の状態を自動的に検出できます。また、カメラとモバイルマニュアル操作画面が装備されており、プロセス全体を通してすべての材料の正確な視覚化とトレーサビリティを実現すると同時に、より便利な方法で障害のトラブルシューティングと解決です。
チャレンジ3
ウェーハがキャリアから滑り落ちるのを防ぐために、キャリアは、棚とフォークの5度の角度に配置されています。高精度の位置決めと安定したフォーキングは、ウェーハボックスの下部スロットを、空中貨物プラットフォームを積み重ねるための特別なツールの3つのポジショニングピンに挿入することで達成されます。繰り返しテストした後、最終的な位置決めの精度に達しました±2mm、そして、フォーキングの滑らかさに達しました99.99％。さらに、機器はさまざまなインターロッキングデバイスを採用しており、全体を効果的に改善します安定性と安全因子.
自動化された倉庫ソリューションの専門家として、Robotechはインテリジェントロジスティクスソリューションを構築しました高度な機器と包括的なシステムに基づいて、汚染のない、リアルタイムで追跡可能なウェーハ材料の場合。
このプロジェクトの実装の成功半導体ウェーハ自動化されたストレージの効果的なブレークスルー、そしてそれを意味しますRobotechは正式に半導体フィールドに入ります、Intelligent Logistics Automation Solutionsを使用して、半導体企業に力を与えます。将来的には、Robotechは引き続き調査、業界の知識を蓄積し、リソースの利用を改善し、全体的な効率改善を達成し続けます。
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ポスト時間：2023年4月11日
