半導体チップは情報技術の中核であり、各国が開発を競う重要な新興技術および産業です。ウエハは、半導体チップ製造の基礎材料として、中国の半導体産業の発展において非常に重要な役割を果たしています。中国はウエハー生産能力ですでに世界をリードしているが、世界的な「チップ不足」が深刻化する中、生産能力拡大はさらに加速するだろう。
1. プロジェクトの背景
国内半導体業界上場グループの子会社として、国内電子情報材料産業のリーディングプレーヤーとして、半導体材料、電子特殊材料、半導体デバイスなどの研究開発、製造に取り組んでいます。主力製品は半導体ゾーンメルティング単結晶シリコンウェーハであり、世界トップ3の総合力と国内シェアを誇る。80%以上.
同社は生産能力の拡大を加速するため、約30億ドルを投資して、江蘇省宜興市で集積回路用の大口径シリコンウェーハ生産・製造プロジェクトの建設を開始した。プロジェクトの第 2 フェーズは 2021 年に開始され、「インダストリー 4.0」の先進的なコンセプトを遵守し、ライン全体でインテリジェント製造を使用して、工場の自動化、情報化、インテリジェントな構築を実現する予定です。完成後の総生産能力は、8インチエピタキシャルウェーハが月産22万枚、12インチポリッシュウェーハが20万枚、12インチエピタキシャルウェーハが15万枚となり、世界的に優位性のあるシリコンウェーハ生産拠点となる。したがって、グループのインテリジェント倉庫に関しては、ROBOTECH は、高度なインテリジェント倉庫システムを導入することにより、生産拠点のインテリジェンス、情報化、自動化レベルを向上させました。.
2.プロジェクトpランニング
ロボテックは生産拠点の縦6mのスペースを最大限に活用し、4レーンボックス型自動倉庫半導体ウェーハ製品にアクセスするための、合計を超える数を収容できる2000の収納スペース, ウェーハの保管容量を効果的に増加。ウェーハはシート状であるため、キャリアにはウェーハへのアクセスが容易な特別にカスタマイズされた 330 * 330 * 300 の透明なプラスチック容器が採用されており、最大荷重は 50kg です。従来の倉庫における複雑なウェーハ保管プロセスと限られたスペース利用の問題を解決し、スペース利用と効率の二重の向上を実現しました。
・Zebraシリーズスタッカークレーンシステム
• 100m/分、24 時間の生産リズム、1 サイクルあたり 63P/h
効率的な運用の観点から、ROBOTECH はゼブラシリーズスタッカークレーンシステム水平速度100m/分を満たします。24時間生産リズム生産拠点のストレージ効率が向上します。1サイクルあたり63P/h.
3. 挑戦を恐れず、カスタマイズされたイノベーション
•E防塵性と耐衝撃性を確保
•非標準のカスタマイズ
•U超音波センサーデバイス
•Tキャリアは棚とフォークに5度の角度で置かれています
チャレンジ 1
半導体ウェーハの保存特性は次のとおりです。防塵性と耐衝撃性を確保そうしないと、壊れやすいウェーハに損傷を与える可能性があります。これを踏まえ、ロボテックではスタッカークレーンの機械構造を改良し、非標準的なカスタマイズ。例えば、従来のレールの代わりにアルミニウム合金製のグランドレールが使用され、鋼製の柱の代わりに高強度冷間引抜アルミニウム合金の柱が使用され、鋼製車輪の代わりにゴム被覆ホイールが使用され、スチールワイヤロープリフティングの代わりにタイミングベルトリフティングが使用されます。 、荷台には防塵カバーが追加されています。設備設計の初期段階から粉塵や振動による商品への影響を最小限に抑え、粉塵のない作業場での汚染のリスクを軽減し、そして歩留まりも向上しました。清浄度レベルはクラス1000の環境要件を満たすことができます。
チャレンジ 2
ウェーハキャリアは透明なプラスチックボックスのため、従来の光電センサーは積荷検出に使用できません。ROBOTECH が革新的に設計した超音波センサーデバイス棚やパレット上の商品の状態を自動的に検出できる貨物検出用。また、カメラとモバイル手動操作画面が装備されており、プロセス全体を通じてすべての材料の正確な視覚化とトレーサビリティを実現すると同時に、より便利な方法でトラブルシューティングと障害の解決も行います。
チャレンジ3
ウェーハがキャリアから滑り落ちるのを防ぐために、キャリアは棚とフォーク上に 5 度の角度で置かれます。空輸荷台を積み重ねて保管するための専用ツールの3本の位置決めピンにウエハーボックスの底部の溝を差し込むことで、高精度の位置決めと安定したフォークを実現します。テストを繰り返した結果、最終的な位置決め精度に達しました±2mm、フォークの滑らかさが達成されました99.99%。さらに、この装置はさまざまな連動装置を採用しており、全体のパフォーマンスを効果的に向上させます。安定性と安全率.
ロボテックは自動倉庫ソリューションの専門家として、インテリジェントな物流ソリューションを構築してきました。高度な設備と包括的なシステムに基づいて、無公害でリアルタイムで追跡可能なウェーハ材料を提供します。
このプロジェクトの成功は、半導体ウェーハの自動保管における効果的な進歩、という意味もありますロボテックが半導体分野に本格参入、インテリジェントな物流自動化ソリューションで半導体企業を支援します。今後もROBOTECHは探究を続け、業界知識を蓄積し、リソース利用を改善し、全体的な効率向上を達成していきます。
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投稿日時: 2023 年 4 月 11 日
