Les puces de semi-conducteurs sont la base de la pierre angulaire des technologies de l'information et une technologie et une industrie émergentes importantes que les pays sont en concurrence pour se développer.Tranche, en tant que matériau fondamental pour la fabrication de puces semi-conducteurs, joue un rôle très important dans le développement de l'industrie chinoise des semi-conducteurs. En termes de capacité de fabrication de plaquettes, la Chine a déjà pris les devants dans le monde, mais à mesure que la «pénurie» mondiale s'intensifie, elle accélérera davantage l'expansion de la capacité.
1. Contexte du projet
Une filiale d'un groupe de semi-conducteur national répertorié, en tant qu'acteur de premier plan dans l'industrie nationale des matériaux d'information électronique, s'est engagée dans la recherche et le développement, la fabrication de matériaux semi-conducteurs, les matériaux électroniques spécialisés, les appareils semi-conducteurs et autres technologies. Le produit principal est la zone de semi-conducteur fondant la plaquette de silicium monocristalline, avec une résistance globale des trois premiers et une part de marché intérieure deplus de 80%.
Pour accélérer l'expansion des capacités, la société a investi environ 3 milliards de dollars pour initier la construction d'un projet de production et de fabrication de plaquettes de silicium de grand diamètre pour les circuits intégrés à Yixing City, province du Jiangsu. La deuxième phase du projet a été lancée en 2021, adhérant au concept avancé de «l'industrie 4.0» et prévoyant d'utiliser la fabrication intelligente dans toute la ligne pour réaliser l'automatisation, l'informatisation et la construction intelligente de l'atelier. Après l'achèvement, la capacité de production totale sera de 220000 tranches épitaxiales de 80000, des tranches polies de 12 pouces de 200000 et des tranches épitaxiales de 120000 12 pouces par mois, devenant une base de production de plaquette de silicium avec des avantages mondiaux. Par conséquent, en termes d'entreposage intelligent du groupe,Robotech a amélioré l'intelligence, l'informatisation et le niveau d'automatisation de sa base de production en mettant en œuvre des systèmes d'entreposage intelligents avancés.
2. Projetplanning
Robotech a entièrement utilisé l'espace vertical de 6 m de sa base de production et planifié unType de boîte à 4 voies Entrepôt automatisépour accéder à des produits de plaquette semi-conducteurs, qui peuvent accueillir un total de plus2000 espaces de stockage, Augmenter efficacement la capacité de stockage des plaquettes. En raison du fait que la tranche est sous la forme d'une feuille, son transporteur adopte un récipient en plastique transparent 330 * 330 * 300 spécialement personnalisé pour un accès facile à la plaquette, avec une charge maximale de 50 kg.Résolution du problème des processus de stockage complexe des plaquettes et de l'utilisation limitée de l'espace dans les entrepôts traditionnels, réalisant une double amélioration de l'utilisation et de l'efficacité de l'espace.
• Système de grue à empiler de la série Zebra
• 100m / min et rythme de production 24 heures et 63p / h par cycle
En termes de fonctionnement efficace, Robotech sélectionne lepile de la série zèbregruesystèmepour un flux de matériau dynamique élevé, avec une vitesse horizontale de100m / min, qui rencontre leRythme de production 24 heuresde la base de production, et l'efficacité de stockage peut atteindre63p / h par cycle.
3. Intrépide des défis, innovation personnalisée
•ENsure Dust and Shock Resistance
•Personnalisation non standard
•Udispositif de capteur ltrasonic
•TLe transporteur est placé à un angle de 5 degrés sur les étagères et les fourchettes
Défi 1
Les caractéristiques de stockage des plaquettes semi-conductrices sont àAssurer la poussière et la résistance aux chocsSinon, il est facile de causer des dommages aux tranches fragiles. Sur la base de cela, Robotech a mis à niveau la structure mécanique de la grue de pilePersonnalisation non standard. Par exemple, les rails de masse en alliage en aluminium sont utilisés à la place des rails conventionnels, des colonnes en alliage en aluminium à froid à haute résistance sont utilisées à la place des colonnes en acier, les roues recouvertes de caoutchouc sont utilisées à la place des roues en acier, le levage de courroie de distribution est utilisé au lieu du levage de corde métallique en acier et les housses résistantes à la poussière sont ajoutées à la plate-forme de cargaison.À partir du stade précoce de la conception de l'équipement, l'impact de la poussière et des vibrations sur les marchandises a été minimisé, le risque de pollution dans l'atelier sans poussière a été réduit,et le rendement a été amélioré. Le niveau de propreté peut répondre aux exigences environnementales de la classe 1000.
Défi 2
En raison de la boîte en plastique transparente de la porteuse de la plaquette, les capteurs photoélectriques conventionnels ne peuvent pas être utilisés pour la détection des cargaisons. Robotech a conçu de manière innovante undispositif de capteur à ultrasonspour la détection des cargaisons, qui peut détecter automatiquement l'état des marchandises sur les étagères et les palettes. Et il est équipé d'une caméra et d'un écran de fonctionnement manuel mobile pour obtenir une visualisation et une traçabilité précises de tous les matériaux tout au long du processus, tout en dépannage et en résolvant les défauts de manière plus pratique.
Défi3
Pour empêcher la plaquette de glisser du transporteur,Le transporteur est placé à un angle de 5 degrés sur les étagères et les fourches. Le positionnement de haute précision et la forking stable sont obtenus en insérant la fente inférieure de la boîte de plaquette dans les trois broches de positionnement de l'outil spécial pour empiler la plate-forme de cargaison aéroportée pour le stockage. Après des tests répétés, la précision finale du positionnement a atteint± 2 mm, et la douceur de la suppression atteinte99,99%. De plus, l'équipement adopte divers dispositifs imbriqués, améliorant efficacement l'ensembleFacteur de stabilité et de sécurité.
En tant qu'expert des solutions d'entreposage automatisées, Robotech a construit des solutions logistiques intelligentesPour les matériaux de tranche qui sont sans pollution et traçables en temps réel, en fonction de l'équipement avancé et des systèmes complets.
La mise en œuvre réussie de ce projet marqueUne percée efficace dans le stockage automatisé de la plaquette semi-conducteurs, et signifie aussi queRobotech entrera officiellement dans le champ semi-conducteur, Autonomiser les entreprises semi-conductrices avec des solutions d'automatisation logistique intelligentes. À l'avenir, Robotech continuera d'explorer, d'accumuler des connaissances de l'industrie, d'améliorer l'utilisation des ressources et d'atteindre l'amélioration globale de l'efficacité.
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