Halbleiterchips sind der Grundpfeiler der Informationstechnologie und eine wichtige aufstrebende Technologie und Industrie, um deren Entwicklung die Länder konkurrieren.WaferAls Grundmaterial für die Herstellung von Halbleiterchips spielt es eine sehr wichtige Rolle bei der Entwicklung der chinesischen Halbleiterindustrie.In Bezug auf die Wafer-Produktionskapazität hat China bereits die weltweite Führung übernommen, aber da sich die globale „Chipknappheit“ verschärft, wird es den Kapazitätsausbau weiter beschleunigen.
1. Projekthintergrund
Eine Tochtergesellschaft eines börsennotierten inländischen Halbleiterkonzerns ist als führender Akteur in der nationalen Branche für elektronische Informationsmaterialien auf die Forschung und Entwicklung sowie die Herstellung von Halbleitermaterialien, elektronischen Spezialmaterialien, Halbleiterbauelementen und anderen Technologien spezialisiert.Das Hauptprodukt ist ein zonenschmelzender Halbleiter-Einkristall-Siliziumwafer mit einer globalen Top-Drei-Gesamtstärke und einem Inlandsmarktanteil vonüber 80 %.
Um die Kapazitätserweiterung zu beschleunigen, hat das Unternehmen rund 3 Milliarden US-Dollar investiert, um den Bau eines Projekts zur Produktion und Herstellung von Siliziumwafern mit großem Durchmesser für integrierte Schaltkreise in der Stadt Yixing in der Provinz Jiangsu zu starten.Die zweite Phase des Projekts wurde im Jahr 2021 gestartet. Sie folgt dem fortschrittlichen Konzept der „Industrie 4.0“ und plant den Einsatz intelligenter Fertigung in der gesamten Linie, um Automatisierung, Informatisierung und einen intelligenten Aufbau der Werkstatt zu erreichen.Nach der Fertigstellung wird die Gesamtproduktionskapazität 220.000 8-Zoll-Epitaxiewafer, 200.000 12-Zoll-polierte Wafer und 150.000 12-Zoll-Epitaxiewafer pro Monat betragen und so zu einer Produktionsbasis für Siliziumwafer mit globalen Vorteilen werden.Im Hinblick auf die intelligente Lagerhaltung der GruppeROBOTECH hat den Intelligenz-, Informations- und Automatisierungsgrad seiner Produktionsbasis durch die Implementierung fortschrittlicher intelligenter Lagersysteme verbessert.
2. ProjektpLanning
ROBOTECH hat den vertikalen Raum von 6 m seiner Produktionsbasis vollständig ausgenutzt und eine geplantAutomatisches 4-bahniges Kastenlagerfür den Zugriff auf Halbleiter-Wafer-Produkte, die insgesamt über Platz bieten2000 Lagerplätze, Dadurch wird die Lagerkapazität von Wafern effektiv erhöht.Da der Wafer die Form eines Blattes hat, verfügt sein Träger über einen speziell angepassten transparenten 330 * 330 * 300-Kunststoffbehälter für einfachen Zugang zum Wafer mit einer maximalen Belastung von 50 kg.Das Problem komplexer Wafer-Lagerprozesse und begrenzter Raumnutzung in herkömmlichen Lagerhäusern wurde gelöst und eine doppelte Verbesserung der Raumnutzung und Effizienz erzielt.
• Regalbediengerät der Zebra-Serie
• 100 m/min und 24-Stunden-Produktionsrhythmus und 63 P/h pro Zyklus
Im Hinblick auf einen effizienten Betrieb wählt ROBOTECH dieStapler der Zebra-SerieKranSystemfür hochdynamischen Materialfluss, mit einer horizontalen Geschwindigkeit von100m/min, was dem entspricht24-Stunden-Produktionsrhythmusder Produktionsbasis und die Speichereffizienz erreichen können63P/h pro Zyklus.
3. Keine Angst vor Herausforderungen, maßgeschneiderte Innovation
•EStellen Sie Staub- und Stoßbeständigkeit sicher
•Nicht standardmäßige Anpassung
•UUltraschallsensorgerät
•TDer Träger wird in einem Winkel von 5 Grad auf die Regale und Gabeln gestellt
Herausforderung 1
Die Speichereigenschaften von Halbleiterwafern sind zusorgen für Staub- und StoßbeständigkeitAndernfalls kann es leicht zu Schäden an empfindlichen Wafern kommen.Auf dieser Grundlage hat ROBOTECH die mechanische Struktur des Regalbediengeräts auf verbessertnicht standardmäßige Anpassung.Beispielsweise werden Bodenschienen aus Aluminiumlegierung anstelle herkömmlicher Schienen verwendet, hochfeste, kaltgezogene Aluminiumlegierungssäulen werden anstelle von Stahlsäulen verwendet, gummibeschichtete Räder werden anstelle von Stahlrädern verwendet, Zahnriemenhub wird anstelle von Stahldrahtseilhubvorgang verwendet Die Ladefläche ist mit staubdichten Abdeckungen versehen.Bereits in der frühen Phase der Gerätekonstruktion wurden die Auswirkungen von Staub und Vibrationen auf die Waren minimiert und das Risiko einer Verschmutzung in der staubfreien Werkstatt verringert.und die Ausbeute wurde verbessert.Der Reinheitsgrad kann die Umweltanforderungen der Klasse 1000 erfüllen.
Herausforderung 2
Aufgrund der transparenten Kunststoffbox des Waferträgers können herkömmliche Lichtschranken nicht zur Ladungserkennung eingesetzt werden.ROBOTECH hat ein innovatives Design entwickeltUltraschallsensorgerätzur Ladungserkennung, die den Zustand von Waren auf Regalen und Paletten automatisch erkennen kann.Und es ist mit einer Kamera und einem mobilen manuellen Bedienbildschirm ausgestattet, um eine genaue Visualisierung und Rückverfolgbarkeit aller Materialien während des gesamten Prozesses zu ermöglichen und gleichzeitig Fehler einfacher zu beheben und zu beheben.
Herausforderung3
Um zu verhindern, dass der Wafer vom Träger rutscht,Der Träger wird in einem Winkel von 5 Grad auf den Regalen und Gabeln platziert.Die hochpräzise Positionierung und die stabile Gabelung werden durch Einführen des unteren Schlitzes der Waferbox in die drei Positionierungsstifte des Spezialwerkzeugs zum Stapeln der luftgestützten Frachtplattform zur Lagerung erreicht.Nach wiederholten Tests wurde die endgültige Positionierungsgenauigkeit erreicht± 2mm, und die Glättung der Gabelung wurde erreicht99,99 %.Darüber hinaus verfügt das Gerät über verschiedene Verriegelungsvorrichtungen, wodurch das Gesamtergebnis effektiv verbessert wirdStabilitäts- und Sicherheitsfaktor.
Als Experte für automatisierte Lagerlösungen hat ROBOTECH intelligente Logistiklösungen entwickeltfür Wafermaterialien, die schadstofffrei und in Echtzeit rückverfolgbar sind, basierend auf fortschrittlicher Ausrüstung und umfassenden Systemen.
Die erfolgreiche Umsetzung dieses Projekts markiertein effektiver Durchbruch in der automatisierten Lagerung von Halbleiterwafern, und bedeutet das auchROBOTECH wird offiziell in den Halbleiterbereich einsteigen, um Halbleiterunternehmen mit intelligenten Logistikautomatisierungslösungen zu unterstützen.Auch in Zukunft wird ROBOTECH weiter forschen, Branchenwissen sammeln, die Ressourcennutzung verbessern und eine Verbesserung der Gesamteffizienz erzielen.
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Zeitpunkt der Veröffentlichung: 11. April 2023
